Identifikacija izdelka
|
Postavka |
Specifikacija |
|
Ime izdelka |
G4 klorovodikova kislina |
|
Kategorija izdelka |
Polprevodniška elektronska mokra kemikalija |
|
Kemijsko ime |
Klorovodikova kislina |
|
Kemijska formula |
HCl |
|
št. CAS |
7647-01-0 |
|
Molekulska teža |
36.46 |
|
Številka ZN |
1789 |
|
Ocena |
SEMI G4 Ultra-Razred elektronike visoke čistosti |
Pregled izdelka
Klorovodikova kislina G4 je anorganska kislina visoke -čistosti, posebej prečiščena za izdelavo polprevodniških rezin in proizvodnjo napredne mikroelektronike. Ta izdelek, proizveden s postopki ultra-čiščenja, nizke-kontaminacije in polnjenja čistih-prostorov, vsebuje ultra-nizko vsebnost kovinskih ionov, anionskih nečistoč in mikro-delcev, kar je v celoti v skladu z industrijskimi specifikacijami SEMI G4.
Je osnovna mokra kemikalija za polprevodniške postopke, ki učinkovito odstranjujejo kovinske onesnaževalce, ionske ostanke in oksidne nečistoče na površinah rezin. Strog nadzor nečistoč odpravlja tveganja mikro-kontaminacije, kar zagotavlja visok izkoristek in stabilno delovanje za napredne postopke izdelave čipov.
Videz:Brezbarvna, prozorna in bistra tekočina z rahlim ostrim vonjem
Tehnične specifikacije (standard SEMI G4)
|
Preizkusni predmet |
Specifikacija |
|
HCl test |
36,0 ~ 38,0 mas. % |
|
Videz |
Brezbarvna in bistra prozorna tekočina |
|
Barva (APHA) |
Manjše ali enako 10 |
|
Gostota pri 20 stopinjah |
1,18 ~ 1,19 g/cm³ |
|
Ostanek izhlapevanja |
Manj kot ali enako 50 ppb |
|
Posamezne kovine v sledovih (Na, K, Ca, Mg, Fe, Cu, Al, Zn, Ni, Cr) |
Manj ali enako 10 ppb vsak |
|
Sulfat (SO₄²⁻) |
Manj ali enako 50 ppb |
|
Nitrat (NO₃⁻) |
Manj ali enako 50 ppb |
|
Prosti klor (Cl₂) |
Manj ali enako 50 ppb |
|
Fosfat (PO₄³⁻) |
Manj ali enako 30 ppb |
|
Delci, večji ali enaki 0,2 μm |
Manj kot ali enako 100 kosov/ml |
Opomba:Vsi testni podatki temeljijo na-serijski COA (potrdilo o analizi).
Aplikacije (polprevodniški mokri postopek)
Čiščenje površine rezin:Odstranite ostanke kovinskih ionov, anorganske onesnaževalce in površinske oksidne plasti na silicijevih rezinah, izboljšajte čistočo površine rezin za kasnejše postopke jedkanja in nanašanja.
Mokro jedkanje polprevodnikov:Uporablja se za natančno mikro{0}}jedkanje materialov na osnovi silicija-in sestavljenih polprevodniških substratov s stabilno hitrostjo jedkanja in enotnim učinkom obdelave.
Priprava procesne raztopine:Oblikujte mešane rešitve za čiščenje in jedkanje za postopek čiščenja RCA, ki se ujemajo z zahtevami napredne proizvodnje sprednjih-koncev polprevodnikov.
Napredni postopek pakiranja in MEMS:Površinska obdelava in odstranjevanje nečistoč za naprave MEMS, pakiranje čipov in obdelavo mikroelektronskih komponent.
Standard pakiranja in polnjenja
Vrsta pakiranja:Clean-grade HDPE zaprt boben / IBC čista torba
Skupna specifikacija:25kg / 30kg majhen boben, 1000kg IBC torba
Okolje polnjenja:Čista soba razreda 1000, ničelna sekundarna kontaminacija, strogo nadzorovan vnos delcev in nečistoč
Standard tesnjenja:Profesionalna zaprta embalaža,-odporna na kisline, proti-izhlapevanju in proti-puščanju
Shranjevanje in rok uporabnosti
● Hraniti v hladnem, suhem, prezračevanem in namenskem skladišču za kemikalije, tesno zaprto, stran od neposredne sončne svetlobe, visoke temperature in virov toplote.
● Izolirajte pred alkalnimi snovmi, oksidanti in organskimi kemikalijami, da preprečite kemično reakcijo in kontaminacijo.
● Izogibajte se dolgotrajnemu odprtemu-namestitvi, da preprečite hlapno poslabšanje in absorpcijo nečistoč.
● Rok uporabnosti: 12 mesecev pri standardnih zaprtih pogojih shranjevanja
Ravnanje in varnostni ukrepi
● Klorovodikova kislina je jedka in hlapljiva. Upravljavci morajo nositi celotno osebno zaščitno opremo: rokavice-odporne na kisline, očala za kemikalije, predpasnik-odporen proti koroziji in zaščitno obleko.
● Delajte v prezračevanem okolju; izogibajte se vdihavanju hlapljivih plinov in neposrednemu stiku s kožo in očmi.
● Postopek redčenja: počasi dodajajte kislino v vodo, nikoli ne dodajte vode v koncentrirano klorovodikovo kislino, da preprečite brizganje in poškodbe.
● V primeru stika ali puščanja upoštevajte smernice SDS za nujne primere za pravočasno čiščenje in odlaganje.
● Za celotno klasifikacijo nevarnosti, prevozna pravila in-ukrepe prve pomoči glejte uradni varnostni list.
Zagotavljanje kakovosti
Vsaka serija klorovodikove kisline G4 je proizvedena in pregledana v skladu z mednarodnimi standardi SEMI G4. Vsako pošiljko spremlja uradna potrdilo o originalnosti serije. Vsi postopki proizvodnje, čiščenja in polnjenja izvajajo strog-nadzor kontaminacije čistih prostorov, da se zagotovi stabilna in dosledna kakovost izdelkov za visokokakovostne-proizvodnje polprevodnikov.
Specifikacija klorovodikove kisline
|
Ime izdelka |
Ocena |
Relativna molekulska masa |
Molekulska formula |
|
Klorovodikova kislina |
Elektronske kemikalije G4 |
36.46 |
HCl |
|
Preglejte predmete |
Specifikacije |
Preglejte predmete |
Specifikacije |
|
Videz |
Brezbarvna prozorna vodna raztopina vodikovega klorida |
Nikelj (Ni), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Analiza (HCl), % |
36.0~38.0 |
Bakrov (Cu), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Kromatičnost, Hazenove enote |
Manjše ali enako 10 |
Cink (Zn), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Ostanek gorenja (sulfatna osnova), ppm |
Manjše ali enako 3 |
Galij (Ga), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
prosti razpoložljivi klor (Cl), ppb |
Manjše ali enako 100 |
Germanij (Ge), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Amonij (NH₄), ppb |
Manjše ali enako 100 |
Arzen (As), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Sulfat (SO₄), ppb |
Manjše ali enako 100 |
Stancij (Sr), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Sulfiti (SO₂), ppb |
Manjše ali enako 100 |
Cirkonij (Zr), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Fosfat (PO₄), ppb |
Manjše ali enako 100 |
Niobij (Nb), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Litij (Li), ppt |
Manjše ali enako 100 |
molibden (Mo), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Berilij (Be), str |
Manjše ali enako 100 |
Srebro (Ag), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Bor (B), str |
Manjše ali enako 100 |
Kadmij (Cd), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Natrij (Na), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Kositer (Sn), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Magnezij (Mg), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Barij (Ba), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Aluminij (Al), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Tantal (Ta), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Kalij (K), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Zlato (Au), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Kalcij (Ca), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Talij (Tl), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Titan (Ti), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Svinec (Pb), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Vanadij (V), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Bizmut (Bi), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Krom (Cr), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Delci (Večji ali enaki 0,2 μm), pcs/mL |
Manjše ali enako 300 |
|
Mangan (Mn), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Delci (Večji ali enaki 0,3 μm), pcs/mL |
Manjše ali enako 100 |
|
Železo (Fe), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Delci (Večji ali enaki 0,5 μm), pcs/mL |
Manjše ali enako 5 |
|
Kobalt (Co), str |
Manjše ali enako 100 |
Konec poročila |
- |
Priljubljena oznake: elektronske kemikalije g4 klorovodikova kislina, Kitajska elektronske kemikalije g4 klorovodikova kislina proizvajalci, dobavitelji, tovarna

