Identifikacija izdelka
|
Postavka |
Vsebina |
|
Ime izdelka |
G4 Žveplova kislina |
|
Kategorija |
Polprevodniška mokra elektronska kemikalija |
|
Kemijsko ime |
Žveplova kislina |
|
Kemijska formula |
\\(\\boldsymbol{H_2SO_4}\\) |
|
št. CAS |
7664-93-9 |
|
Molekulska teža |
98.08 |
|
Standardni razred |
Razred SEMI G4 |
Opis izdelka
4 Žveplova kislina je močna anorganska kislina ultra-visoke-čistosti, proizvedena za izdelavo naprednih polprevodniških rezin. Proizveden s posebnimi postopki čiščenja in ultra-fine filtracije, vsebuje ultra-nizke-sledove kovinskih nečistoč in nadzorovano raven delcev, ki je v skladu s specifikacijo SEMI G4. Široko se uporablja za čiščenje rezin, odstranjevanje fotorezista, odstranjevanje organskih ostankov in površinsko obdelavo v proizvodnji IC, kar zmanjšuje tveganje kontaminacije za-kritične procese mikro{10}}elektronike.
Videz:Brezbarvna, bistra oljnata tekočina brez vonja.
Tehnične specifikacije (standard SEMI G4)
|
Preizkusni predmet |
Specifikacija |
|
Test (\\(H_2SO_4\\)) |
96,0 ~ 98,0 mas. % |
|
Videz |
Brezbarvna in bistra oljnata tekočina |
|
Barva (APHA) |
Manjše ali enako 10 |
|
Gostota pri 20 stopinjah |
1,83-1,85 g/cm³ |
|
Ostanek izhlapevanja |
Manj ali enako 100 ppb |
|
Delci, večji ali enaki 0,2 μm |
Manj kot ali enako 100 kosov/ml |
|
Posamezne kovine v sledovih (Al, Fe, Cu, Na, K, Ca, Mg, Zn, Ni, Cr itd.) |
Manj ali enako 10 ppb vsak |
|
Klorid (\\(Cl^-\\)) |
Manj ali enako 100 ppb |
|
Nitrat (\\(NO_3^-\\)) |
Manj kot ali enako 200 ppb |
|
Fosfat (\\(PO_4^{3-}\\)) |
Manj kot ali enako 200 ppb |
Aplikacije
1. Čiščenje polprevodniških rezin, odstranite organske onesnaževalce, ostanke delcev in kovinske nečistoče.
2. Postopek odstranjevanja fotorezista za proizvodnjo IC.
3. Priprava mešanih mokrih-kemijskih raztopin za polprevodniški sprednji-postopek.
4. Površinska obdelava za napredno pakiranje, naprave MEMS.
Pakiranje
● 330 kg HDPE sod
● 1500 kg IBC torba
● 20 ton ISO kontejnerski rezervoar (razsuti tovor)
Polnjeno v čisti{0}}sobni sobi, da se prepreči sekundarna kontaminacija.
Shranjevanje in rok uporabnosti-
● Hraniti v hladnem, suhem, dobro{0}}prezračevanem skladišču, dobro zaprto, stran od vlage, vročine in nezdružljivih snovi.
● Izogibajte se neposredni sončni svetlobi.
● Rok uporabnosti-: 12 mesecev pod priporočenimi pogoji shranjevanja.
Ravnanje in varnostne opombe
● Močan korozivni material. Med delovanjem nosite OZO, odporno-na kisline (očala, rokavice-odporne na kisline, predpasnik).
● V vodo vedno dodajte kislino počasi; nikoli ne vlivajte vode v koncentrirano žveplovo kislino (močna eksotermna reakcija).
● Glejte ustrezni varnostni list za popolne informacije o nevarnosti, prvo-pomoč, ravnanje pri razlitju in navodila za prevoz.
Zagotavljanje kakovosti
Vsako dostavo mora spremljati -certifikat analize (COA) za določeno serijo. Vsi postopki proizvodnje in polnjenja sledijo nadzoru čistih-sob, da se izpolnijo zahteve glede kontaminacije SEMI G4.
Potrdilo o analizi
|
Ime izdelka |
Ocena |
Relativna molekulska masa |
Molekulska formula |
|
Žveplova kislina |
Elektronske kemikalije G4 |
98.07 |
H2torej4 |
|
Preglejte predmete |
Specifikacije |
Preglejte predmete |
Specifikacije |
|
Videz |
Brezbarvna prozorna tekočina |
Nikelj (Ni), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Analiza (H2SO4), % |
Večji ali enak 96,0 |
Bakrov (Cu), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Kromatičnost, Hazenove enote |
Manjše ali enako 10 |
Cink (Zn), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Ostanek pri gorenju (kot žveplo), ppm |
Manjše ali enako 2 |
Galij (Ga), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Klorid (Cl), ppb |
Manjše ali enako 50 |
Germanij (Ge), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Nitrat (NO3), ppb |
Manjše ali enako 50 |
Arzen (As), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Amonijeva sol (NH4), ppb |
Manjše ali enako 100 |
Stroncij (Sr), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Reducirana snov kalijevega permanganata (asSO2), ppm |
Manjše ali enako 2 |
Cirkonij (Zr), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Litij (Li), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Niobij (Nb), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Berilij (Be), ppt |
Manjše ali enako 100 |
molibden (Mo), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Bor (B), str |
Manjše ali enako 100 |
Srebro (Ag), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Natrij (Na), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Kadmij (Cd), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Magnezij (Mg), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Kositer (Sn), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Aluminij (Al), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Barij (Ba), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Kalij (K), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Tantal (Ta), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Kalcij (Ca), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Zlato (Au), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Titan (Ti), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Talij (Tl), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Vanadij (V), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Svinec (Pb), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Krom (Cr), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Bizmut (Bi), ppt |
Manjše ali enako 100 |
|
Mangan (Mn), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Delci (Večji ali enaki 0,2 μm), število/mL |
Manjše ali enako 300 |
|
Železo (Fe), ppt |
Manjše ali enako 100 |
Delci (Večji ali enaki 0,3 μm), število/mL |
Manjše ali enako 100 |
|
Kobalt (Co), str |
Manjše ali enako 100 |
Delci (Večji ali enaki 0,5 μm), število/mL |
Manjše ali enako 5 |
Priljubljena oznake: elektronske kemikalije g4 žveplova kislina, Kitajska elektronske kemikalije g4 žveplova kislina proizvajalci, dobavitelji, tovarna